半导体真空系统的性能直接影响芯片制造的良品率。我们专注于半导体真空系统用特种金属材料的研发与制造,为真空设备提供专业的材料支持。从真空腔体到内部件,从密封系统到传输机构,合适的材料选择是确保真空性能的基础。
因科洛伊合金825管件在腐蚀性环境中表现优异。这种镍铁铬合金具有优良的耐应力腐蚀性能,适用于干法刻蚀机气体输送管路、CVD设备进气系统等关键部件。我们通过精密轧制和固溶处理,确保管件具有均匀的组织结构。
镍铜合金B-2板材在特殊真空部件中发挥重要作用。这种镍铜合金具有极佳的耐还原性介质腐蚀能力,适用于真空泵内部件、特殊工艺腔体等设备。我们通过真空熔炼工艺,确保板材具有高纯度和均匀的组织。
双相不锈钢2507管件在真空辅助系统中展现卓越性能。这种铁素体-奥氏体双相不锈钢具有较高的强度和优良的耐腐蚀性,适用于真空获得系统、排气管道等部件。我们通过精确控制相比例,确保管件兼具高强度和高耐蚀性。
我们建立了完善的真空材料洁净度控制体系。从原材料到成品,每个环节都实施严格的洁净控制。我们提供的真空材料表面洁净度达到半导体级标准。